真空擴(kuò)散焊接過(guò)程中接頭的質(zhì)量取決于一系列工藝參數(shù)，主要是溫度、壓力和保持時(shí)間。焊接接頭形成的擴(kuò)散過(guò)程被熱激活，因此提高焊接溫度會(huì)刺激它們的發(fā)展。為降低壓縮壓力，縮短焊接時(shí)間，焊接部位的加熱溫度應(yīng)設(shè)置得盡可能高；金屬對(duì)塑性變形的抵抗力較低。同時(shí)，有必要考慮到結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變、異質(zhì)擴(kuò)散、共晶形成和其他導(dǎo)致被焊接金屬物理機(jī)械性能變化的過(guò)程的發(fā)展的可能性。在許多情況下，可以排除使用外部壓力來(lái)壓縮焊接工件，利用加熱具有不同線性膨脹系數(shù)的材料時(shí)產(chǎn)生的熱應(yīng)力現(xiàn)象。焊接同軸組裝的毛坯時(shí)，母頭的線膨脹系數(shù)必須小于公頭的線膨脹系數(shù)。
                                                 

比壓影響擴(kuò)散結(jié)合的形成速率和焊接工件的累積變形量。在大多數(shù)情況下，比壓越高，焊接時(shí)間越短，變形越大。因此，當(dāng)在壓力機(jī)中使用高比壓（高達(dá)幾十兆帕）進(jìn)行焊接時(shí)，化合物形成的時(shí)間可以以秒為單位進(jìn)行測(cè)量，而結(jié)合區(qū)的金屬變形量可以達(dá)到百分之幾十。當(dāng)使用低比壓（十分之一兆帕）進(jìn)行焊接時(shí)，焊接時(shí)間可以以小時(shí)為單位計(jì)算，但要連接的坯料的變形僅為百分之幾的幾分之一。因此，選擇特定壓力的任務(wù)應(yīng)考慮到結(jié)構(gòu)類型、技術(shù)方案和待連接坯料的幾何尺寸，焊接時(shí)間的選擇應(yīng)考慮溫度和比壓。焊接異種材料時(shí)，焊接時(shí)間的增加可以伴隨著減少由于異質(zhì)擴(kuò)散過(guò)程的發(fā)展導(dǎo)致在連接區(qū)形成脆性金屬間相，機(jī)械特性復(fù)合。